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  • 產品形貌:   適用於4″、6″標準圓形基片勻膠工藝。  1.整機採用框架結構,次要由盒站單元、傳片單元、勻膠單元、熱處理單元、冷盤恒溫單元、掌握系統、光刻膠供應系統及排液系統等組成。  2.事情方法為自動完成勻膠工藝加工過程。
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    產品形貌:   適用於4″、6″標準圓形基片顯影工藝。  1.整機採用框架結構,次要由盒站單元、傳片單元、顯影單元、熱處理單元、冷盤恒溫單元、掌握系統、顯影液供應系統及排液系統等組成。  2.事情方法為自動完成顯影工藝加工過程。
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  • 產品形貌: 片盒熱盤熱盤顯影單元機械手2機械手1片盒熱盤熱盤顯影單元產品形貌   適用於4″、6″標準圓形基片顯影工藝。  1.整機採用框架結構,次要由盒站單元、提拔器單元、傳片單元、顯影單元、熱處理單元、掌握系統、顯影液供應系統及排液系統等組成。  2.事情方法為自動完成顯影工藝加工過程。
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